微型真空探針臺由哪些部分組成？

　　微型真空探針臺是半導體（包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器）行業(yè)重要的檢測裝備之一，其廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。通過(guò)與測試儀器的配合，探針臺將參數特性不符合要求的芯片記錄下來(lái)，在進(jìn)入后序工序前予以剔除，大大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應用。

　　微型真空探針臺由哪些部分組成？

　　樣品臺（載物臺）：是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會(huì )根據晶圓的尺寸來(lái)設計大小，并配套了相應的精密移動(dòng)定位功能。

　　光學(xué)元件：這個(gè)部件的作用使得用戶(hù)能夠從視覺(jué)上放大觀(guān)察待測物，以便準確地將探針對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點(diǎn)上。有的采用立體變焦顯微鏡，有的采用數碼相機，或者兩者兼有。

　　卡盤(pán)：有一個(gè)非常平坦的金屬表面，卡盤(pán)用夾具來(lái)固定待測物，或使用真空來(lái)吸附晶圓。

　　探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見(jiàn)的有普通 DC 測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上。探針尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類(lèi)型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應與探針尖匹配。

　　探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量?jì)x器。電纜組件用于轉接、延展探針夾具上的電纜組件。

　　操縱器（定位器）：探針臺使用操縱器將探針?lè )胖迷诒粶y物上，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當的位置。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上準確定位探針，并且在某些情況下提供旋轉運動(dòng)。