蒸鍍儀和濺射儀靶材選擇

關(guān)于小型濺射儀 小型蒸鍍產(chǎn)品知識(shí)要點(diǎn)

直流磁控濺射儀濺射方式是調(diào)動(dòng)靶材內(nèi)磁場，使金屬離子轟擊到樣品表面的鍍膜方式。目前只能支持金屬靶材。已經(jīng)測試過的靶材有金、銀、銅、鉻、鎳、鋁、以及部分合金(鎳鐵合金)。以下是對一些特殊金屬鍍膜要求

鋁:鍍鋁推薦使用高真空分子泵。

鉻、鎳:靶材厚度 0. 5mm 左右。

小型蒸鍍儀是通過高溫蒸發(fā)的方式鍍膜。支持蒸鍍金屬和有機(jī)物。目前已測試的金屬有金、銀、銅、鉻、鎳、鋁，有機(jī)物(石蠟)。蒸鍍儀增加膜厚監(jiān)測需要用到帶有屏蔽溫度的陶瓷坩堝(原因是高溫會(huì)影響膜厚儀的測試結(jié)果)。以下是對一些特殊金屬鍍膜要求。鋁:鍍鋁需要用到陶瓷坩堝。是因?yàn)殇X高溫熔化時(shí)會(huì)滲透進(jìn)鎢舟，發(fā)生脆性相，鎢舟容易斷裂。

鎳:'熔點(diǎn)較高(1453°)，需要用鎳絲纏繞鎢棒進(jìn)行蒸發(fā)。同樣會(huì)滲透進(jìn)鎢棒內(nèi)，使鎢棒斷裂

鉻:熔點(diǎn)較高(1850左右°)，需要用到鉻鎢棒進(jìn)行蒸發(fā)鍍膜。