液體氣體混合配比器

    液體氣體混合配比器(Mass Flow Meter 縮寫(xiě)為MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量；質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫(xiě)為MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。

   它們在半導體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。其典型的應用場(chǎng)合包括； 電子工藝設備，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

概覽

   液體氣體混合配比器(MFC)和氣體質(zhì)量流量計(MFM)用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行 精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫藥、環(huán) 保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著(zhù)重要的應用。其典型的應用場(chǎng)合包括： 集成電路工 藝設備，如外延爐、擴散爐、CVD、等離子刻蝕機、濺射臺、離子注入機； 以及鍍膜設備、 光纖熔煉設備、微反應裝置、混氣配氣系統、氣體取樣裝置、毛細管測量?jì)x、氣相色譜儀及 其它分析儀器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星電子生產(chǎn)的數字型產(chǎn)品，為氣體質(zhì)量流量的控制、 測量提供了高準確度及高可靠性。該型產(chǎn)品可同時(shí)支持數字信號，0~5V 模擬信號，4~20mA 或 0~20mA 模擬信號，可以使用雙電源(±8~±16 VDC)或單電源(+14~+28 VDC)。支持自動(dòng)故障報警，多氣體多量程等功能。標準開(kāi)放的通訊協(xié)議為客戶(hù)自行開(kāi)發(fā)控制、采集軟件 提供便利。提供功能強大的免費客戶(hù)端上位機軟件 Digital MFC。CS200-C 與 CS200-D 產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，其中 CS200-C 金屬表面符合 SEMI 標準的要求。

CS200-A,C,D MFC 默認配置為：
MAC 地址：32；
RS485 通信波特率：19200；
控制方式：0~5V 電壓控制。

更多細節請參考產(chǎn)品附帶光盤(pán)中的“CS 系列 MFC 通訊協(xié)議"。

標定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用戶(hù)的要求來(lái)標定。如果用戶(hù)沒(méi)有說(shuō)明工作情況等信息，

則按照標準狀況標定。

1、標準狀況

出口壓力：大氣壓
氣體質(zhì)量流量通常用標準狀態(tài)下的體積流量來(lái)表示，質(zhì)量流量單位為：

SCCM：標準毫升/分鐘
SLM：標準升/分鐘
標準狀態(tài)：溫度 0°C (273.15K)
                 氣壓：101325Pa (760mm Hg)

在標準狀態(tài)下，氣體的密度是一個(gè)常數，該密度乘以標準狀態(tài)下的體積就是質(zhì)量數，所以標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
MFC/MFM 的標準安裝位置為水平安裝，同時(shí)為客戶(hù)提供垂直(進(jìn)氣口向上或向下)、平躺及其它位置的安裝，為保證的測量精度，用戶(hù)購買(mǎi)時(shí)應該說(shuō)明設備的安裝方式。

2、制造環(huán)境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在溫度為 22±2°C的 100 級的凈化間內組裝，1000 級凈化環(huán)境下標定及包裝。

3、精度調節
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相應的標定臺上烤機 24 小時(shí)，然后進(jìn)行精確標定。精度、動(dòng)態(tài)響應、壓力變化的穩定性等指標須經(jīng)過(guò)兩次檢查,合格后方可出廠(chǎng)