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產(chǎn)品中心

Product Center

當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-1650PVD鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀

鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動(dòng)擋板功能。

產(chǎn)品型號:KT-1650PVD
更新時(shí)間:2024-03-27
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:1011
品牌鄭科探樣品臺尺寸氬氣mm
控制方式觸摸屏智能控制樣品倉尺寸50mm
靶材尺寸50mm靶材材質(zhì)金 鉑 銅 銀
價(jià)格區間面議產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域電子

    鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀是一款小型臺式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉,樣品高度調節,及電動(dòng)擋板功能。

      鄭科探 KT-Z1650CVD小型離子濺射儀通過(guò)定時(shí)調節預熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。

設備名稱(chēng)

小型濺射儀

小型蒸鍍儀

控制方式

7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制

工作電源

直流濺射電源

直流熱蒸發(fā)電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

≤1500W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

電壓≤12V  電流≤100A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

腔體真空

≤30Pa

擋板類(lèi)型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

石英腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節距離

40-105mm

70-140mm

蒸發(fā)坩堝容積

3ML

蒸發(fā)溫度調節

≤1600℃

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口

可選配擴展

1 膜厚在線(xiàn)測試    2 分子泵


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