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產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD小型離子濺射儀 鄭州 科探
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小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD在磁控濺射中，由于運動(dòng)電子在磁場(chǎng)中受到洛侖茲力，它們的運動(dòng)軌跡會(huì )發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運動(dòng)，其運動(dòng)路徑變長(cháng)，因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數，使等離子體密度增大，從而磁控濺射速率得到很大的提高，而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作。
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據需求氣體 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
| 樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
| 靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 | 價(jià)格區間 | 1-5萬(wàn) |
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD
離子濺射儀功能：
一個(gè)更加廣泛的選擇由于全自動(dòng)直流離子濺射儀在制樣過(guò)程中被提供給了掃描電鏡用戶(hù)，從而為掃描電子顯微鏡所需的涂層要求的適用提供了支持。在結構設計及人機界面方面簡(jiǎn)單智能，對人性更加的注重。一個(gè)低成本的解決方案由于離子濺射儀對SEM樣品常規適用黃金濺射被提供了，與此同時(shí)能夠利用對金、鉑、銥、銀、銅等不同的靶材的更換來(lái)使得更細顆粒的涂層達到。與此同時(shí)，利用智能的人機界面對儀器的控制更加的方便、簡(jiǎn)單以及精確，與此同時(shí)，能夠對鍍層厚度進(jìn)行估算，對真空實(shí)時(shí)顯，濺射電流對濺射時(shí)間進(jìn)行設定，對靶材的剩余情況進(jìn)行計算。
離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專(zhuān)用的儀器，樣品的導電性及導熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀(guān)測結果得到了較為顯著(zhù)的提高。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 彩色觸摸屏：數據輸入簡(jiǎn)單快速
• 通過(guò)觸摸屏中直觀(guān)檢測數據和曲線(xiàn)；歷史頁(yè)面可顯示歷史涂層信息。
• 可控鍍膜速率，可得到更精細的晶粒結構
• 可手動(dòng)或自動(dòng)，根據時(shí)間或根據厚度進(jìn)行濺射
• 樣品臺更換簡(jiǎn)單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來(lái)好的噴金效果。
小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD廠(chǎng)家供應技術(shù)參數；
控制方式 | 7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類(lèi)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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