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產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD桌面小型離子濺射儀
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桌面小型離子濺射儀本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導電膜),儀器操作簡(jiǎn)單方便,是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器
| 品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 氬氣 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏 |
| 樣品倉尺寸 | 160x170mm | 靶材尺寸 | φ50mm |
| 價(jià)格區間 | 面議 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
| 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
桌面小型離子濺射儀，
離子濺射儀為一種有著(zhù)緊湊結構的桌上型鍍膜系統，對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時(shí)，交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進(jìn)行清潔，之后試樣復原，再進(jìn)行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料，有時(shí)電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料，氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。
離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專(zhuān)用的儀器，樣品的導電性及導熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀(guān)測結果得到了較為顯著(zhù)的提高。
桌面小型離子濺射儀技術(shù)參數；
控制方式 | 7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類(lèi)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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