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產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD精密小型真空磁控濺射儀器
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精密小型真空磁控濺射儀器鄭州科探KT-Z1650PVD，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時(shí)間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動(dòng)控制，設計符合人體工程學(xué)，所得結果一致，可重復性高。
| 品牌 | 鄭科探 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子,冶金,航天 |
鄭州科探儀器設備是高質(zhì)量定制物理 氣相沉積（PVD）系統的設計者和制造商，客戶(hù)服務(wù)和售后服務(wù)出色。擁有7年以上真空和薄膜沉積技術(shù)經(jīng)驗。其研發(fā)團隊在學(xué)界科學(xué)家和工程師的支持下，高度積極地開(kāi)發(fā)新設計以滿(mǎn)足客戶(hù)的特殊要求。
鄭科探的工程團隊設計和制造的組件符合高質(zhì)量標準。KT-Z1650PVD真空鍍膜機已通過(guò)分銷(xiāo)商銷(xiāo)往許多大學(xué)和研究中心，并得到了很好的參考和反饋。
儀器描述：
精密小型真空磁控濺射儀器，能夠在非導電或導電不良的樣品上涂布金（Au），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時(shí)間內即可形成具有細粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結構緊湊，全自動(dòng)控制，設計符合人體工程學(xué)，所得結果一致，可重復性高。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 彩色觸摸屏：數據輸入簡(jiǎn)單快速
• 通過(guò)觸摸屏中直觀(guān)檢測數據和曲線(xiàn)；歷史頁(yè)面可顯示歷史涂層信息。
• 可控鍍膜速率，可得到更精細的晶粒結構
• 可手動(dòng)或自動(dòng)，根據時(shí)間或根據厚度進(jìn)行濺射
• 樣品臺更換簡(jiǎn)單：標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉；行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來(lái)好的噴金效果。
精密小型真空磁控濺射儀器技術(shù)參數；
控制方式 | 7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類(lèi)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
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