微型真空探針臺設計有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調節移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號線(xiàn)連接測試儀器來(lái)測試電學(xué)信號。

微型真空探針臺熱臺測試系統測試儀器 快速實(shí)現室溫-200℃環(huán)境的控溫，可在真空環(huán)境下對樣品進(jìn)行光學(xué)，電學(xué)測試，測試中也可實(shí)現惰性氣體的快速充放。

擁有一臺高溫1000℃真空探針臺溫度溫度±1℃ 你在材料測試方面 多功能 全方面 可擴展 顯微鏡熱臺 微型探針臺 氣敏濕敏探針臺 拉曼光學(xué)測試臺 熱電探針臺 光電探針臺 非磁性霍爾效應探針臺

擁有一臺 你在材料測試方面熱電 氣敏濕敏探針臺 拉曼光學(xué)測試臺 多功能 可擴展 顯微鏡熱臺 微型探針臺 氣敏濕敏探針臺 拉曼光學(xué)測試臺 熱電探針臺 光電探針臺 非磁性霍爾效應探針臺

電路板微型探針臺和晶圓探針 鄭科探微型探針顯微鏡冷熱臺 高溫400℃ 低溫-190℃ 4個(gè)可移動(dòng)探針 測試噪聲小于5E-13A 可擴展上下雙透視窗口用于光電測試 可擴展凹視鏡 用于拉曼光譜測試 探針腔體可達真空0.1pa（機械泵） 1E-3Pa（分子泵）可用于光學(xué) 氣敏 濕敏 壓敏材料 電化學(xué)測試