氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷技術(shù)

1. 自我診斷技術(shù)

　　自我診斷技術(shù)是在不停機或基本不拆機的情況下，通過(guò)各種檢測分析來(lái)判斷設備狀態(tài)是否正常，異?；蚬收系脑?、部位、程度以及壽命的預測。

　　自我診斷技術(shù)的主要作用是獲得設備的結果狀態(tài)信息，即根據設備在各種工況下，表現出來(lái)的精度超差，零點(diǎn)漂移，內漏等所有狀態(tài)信息的綜合分析來(lái)識別產(chǎn)品的狀態(tài)、異常類(lèi)型和異常的嚴重程度，其本質(zhì)是一個(gè)包含信號采集、信息提取、信息綜合、故障識別和信息利用的過(guò)程。自我診斷的目標是確保產(chǎn)品在功能、精度、效率和可靠性方面均能穩定運行

2. 自我診斷技術(shù)在氣體質(zhì)量流量控制器中的應用

　　半導體設備對氣體質(zhì)量流量控制器的要求重要的一點(diǎn)就是高精度，傳統的氣體質(zhì)量流量控制器在使用一段時(shí)間后，由于環(huán)境溫度、氣體污染等原因，有可能出現精度超差的現象，但由于檢測條件的限制，用戶(hù)無(wú)法對氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗。因此需要研究一種自我診斷技術(shù)，通過(guò)該技術(shù)，用戶(hù)可以隨時(shí)對氣體質(zhì)量流量控制器的精度進(jìn)行檢驗。

　　增加氣體質(zhì)量流量控制器的自我診斷功能，需要通過(guò)初級流量測量原理獲得流量。若Qm為氣體的質(zhì)量流量，可以根據壓力、溫度與氣體流量變化方程建立壓力隨時(shí)間的變化曲線(xiàn),如圖2所示：

　通過(guò)該圖可以建立氣體質(zhì)量流量控制器的精度對應表，進(jìn)行自我診斷過(guò)程中，與該表格信息進(jìn)行對比，可通過(guò)兩條曲線(xiàn)的相似度判定，系統的精度是否在要求范圍內。自我診斷技術(shù)大大提高了氣體質(zhì)量流量控制系統的可靠性，完善了系統功能。

3 自我診斷技術(shù)優(yōu)勢

　　采用自我診斷技術(shù)的智能分析，質(zhì)量流量控制器能夠做出智能化的檢測，對該設備可能出現的故障進(jìn)行預測，在預測的基礎之上，自動(dòng)予以消除或者做出報警反映，這一過(guò)程對于產(chǎn)品本身使用中的維護而言，能夠取得更好的經(jīng)濟效益，不但工作人員的工作量可以得到有效的降低，自診結果也能夠得到很全面地提供，維護人員還可以對應的進(jìn)行更加完善、有效的維護方案制定，維修保養地開(kāi)展和實(shí)施就會(huì )更加的理