微型真空探針臺設計有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調節移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號線(xiàn)連接測試儀器來(lái)測試電學(xué)信號。

氣體溫度控制儀的氣體從腔體底部向上經(jīng)分布器以氣泡形式通過(guò)液層，氣相中的反應物溶入液相并進(jìn)行反應，氣泡的攪拌作用可使液相充分混合。鼓泡塔結構簡(jiǎn)單，沒(méi)有運動(dòng)部件，適用于氣體加濕，氣液反應。

超低溫真空半導體制冷臺主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動(dòng)鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。

真空加熱腔體主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為50x50mm，臺面高可升溫到高350℃。

高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL，真空高低溫探針臺系統，使用國際上*溫度控制系統和傳感器，溫度范圍為77.15K至673.15K（-196攝氏度到400攝氏度），溫度穩定性可達0.1K。