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產(chǎn)品中心實(shí)驗室氣體配比器氣體液體配比器混合氣體配比氣體混配器流量流量配比
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混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可將多種氣體安一定比例均勻混合后通入到管式爐中。各種氣體的流量是通過(guò)精密的質(zhì)量流量計來(lái)控制，流量計和混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜內。此系列設備可用于搭建CVD系統，也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境.
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產(chǎn)品分類(lèi)article
相關(guān)文章| 品牌 | 其他品牌 | 應用領(lǐng)域 | 電子 |
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混合氣體配比氣體混配器流量流量配比主要用于氣體流量測試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營(yíng)造特定要求的氣氛環(huán)境.
該 混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可以外接3種氣體,采用質(zhì)子型流量計,氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.
1.半導體制造行業(yè)中氣體流量控制
2.各種真空鍍膜設備
3.特種材料表面處理
4.氣體燃燒控制
5.混和配氣系統
6.泄漏探測系統
7.環(huán)境檢測與分析設備
8.分析儀器的氣體流量計量與控制
9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要氣體檢測和控制的場(chǎng)所
產(chǎn)品型號 | KT-C3Z |
產(chǎn)品類(lèi)型 | 智能控制 觸摸屏控制 |
流量量程 | 2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm, 1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
流量控制方式 | 觸摸屏設定流量 |
時(shí)間設定 | 0-99999 |
數據導出 | 有 |
程序控制 | 無(wú) （可根據要求寫(xiě)程序) |
壓力顯示 | 無(wú) (可根據需求添加) |
耐壓 | 3MPa |
密封材料 | 金屬密封 Metal |
輸入輸出信號 | (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA, |
電源 | ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC |
閥類(lèi)型 | 常開(kāi)或常閉 |
溫度系數 | Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃ |
零點(diǎn)飄移指標 | ＜0.6%F.S. per year without autozero |
電氣連接 | Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male |
工作壓差范圍 | (0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm） |
漏率 | 1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He） |
標準接頭形式 | 雙卡套1/4”(滿(mǎn)量程≤30slm),雙卡套Φ3 (僅適用于滿(mǎn)量程≤5slm產(chǎn)品),雙卡套Φ6(僅適用于滿(mǎn)量程≤30slm產(chǎn)品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型 |
表面化學(xué)成分 | CrO thickness ＞20 Angstroms |
表面粗糙度 | 20µinch |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 16KG |
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