真空低溫探針臺

   真空低溫探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

    真空低溫探針臺的承片臺X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀(guān)察，使探針對準檢測點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測。

1、總體規格

尺寸：650mmW*650mmD*1500mmH（含支架）

自重：約80Kg

2、結構與特點(diǎn)

（1）真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個(gè)用戶(hù)法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）

（2）探針控制：標配4個(gè)探針臂。調節范圍50mm*50mm*30mm，調節精度優(yōu)于10um。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線(xiàn)纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線(xiàn)纜

（3）顯微鏡模塊：連續變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物鏡時(shí)），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調焦和光學(xué)調焦

（4）變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K?？販胤€定性?xún)?yōu)于±0.02K

（5）可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖

（6）系統直流漏電低于1pA

3、含進(jìn)口分子泵機組、全量程真空規和智能溫控儀

4、設備照片（因配置不同，照片僅供參考）