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產(chǎn)品中心

Product Center

當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心材料樣品檢測真空探針臺氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

流量計數量:5個(gè),(根據客戶(hù)需求標定 氣體 量程 進(jìn)氣口和出氣口) 氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔
流量規格:500 ml/min
精準度:&#177;1.0% S.P.(≥30% F.S.)&#177;0.30% F.S.(<30% F.S.)
重復精度:&#177;0.2% F.S
響應時(shí)間:≤1 s
密封形式:金屬密封
接頭尺寸:6 mm
漏率:<1&#215;10-8 Pa&#183;m3/s
通訊接口:RS485

產(chǎn)品型號:
更新時(shí)間:2024-03-27
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:975
品牌鄭科探價(jià)格區間面議
自動(dòng)化度半自動(dòng)產(chǎn)地類(lèi)別國產(chǎn)
應用領(lǐng)域電子

1、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

測試夾具要求:可實(shí)現XYZ移動(dòng);

測試腔:同時(shí)滿(mǎn)足靜態(tài)/動(dòng)態(tài)測試,304不銹鋼材質(zhì),可在紫外燈下保證氣密性測試;

測試樣品數:同時(shí)測試8個(gè)樣品,可進(jìn)行頻率-阻抗測試、插指電極和場(chǎng)效應管測試;

測量溫度:室溫---300 ℃

控溫精度:±1 ℃

顯示精度:±0.1 ℃

測溫傳感器:PT100

升溫斜率:1-10 ℃/min

通訊類(lèi)型:RS485

加熱功率:500 W

測試腔容積<2 L

2、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔

流量計數量:5個(gè),(根據客戶(hù)需求標定 氣體  量程    進(jìn)氣口和出氣口) 

流量規格:500 ml/min

精準度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(30% F.S.)

重復精度:±0.2% F.S

響應時(shí)間:≤1 s

密封形式:金屬密封

 

 

   探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

 

   該探針臺的承片臺X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調節,其中X方向調節范圍:0-30mm;y方向調節范圍:0-13mm;z方向調節范圍:0-13mm;用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過(guò)顯微鏡觀(guān)察,使探針對準檢測點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測。

接頭尺寸:6 mm

漏率:<1×10-8 Pa·m3/s

通訊接口:RS485

4、樣品12*10mm,探針可移動(dòng)范圍x-y 1-10mm,z

5、每個(gè)樣品上方一個(gè)紫外燈,四個(gè)燈連成燈串外置一個(gè)可控開(kāi)關(guān)。紫外燈可更換,樣品上方2cm。

6、加熱板上有個(gè)鍍金襯底,用來(lái)連接柵極。

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