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KT-Z1650PVD是一款小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。
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|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) | 應用領(lǐng)域 | 電子 |
KT-Z1650PVD是一款小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動(dòng)擋板功能。通過(guò)定時(shí)調節預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。
小型濺射儀 直流濺射鍍膜儀技術(shù)參數：
控制方式 | 7寸人機界面 手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
大功率 | ≤1000W |
大輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
極限真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類(lèi)型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （大可安裝φ50基底） |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
針對市場(chǎng)上其它型號我們做如下改進(jìn)
1 腔體擴充口可增加擴展口 大可擴展KF40接口方便連接分子泵 或 晶控傳感器
2 樣品可旋轉 大轉速20轉每分鐘 使鍍膜樣品更均勻
3 輕旋轉機械手柄 樣品高度可精細調節 樣品距離靶材距離可到1mm
4 電動(dòng)擋板 使用人機界面程序控制打開(kāi)或者關(guān)閉時(shí)間
5 可通過(guò)人機界面手動(dòng)或者使用編程自動(dòng)控制預濺射（洗靶） 恒定功率輸出 變換功率輸出 定時(shí)打開(kāi)擋板（時(shí)間單位 秒）關(guān)閉擋板 樣品轉速 工藝可存儲 工藝名稱(chēng)可改 利如 噴金20納米厚
6 腔體上蓋鉸鏈安裝 更換靶材方便操作
7 此產(chǎn)品已申請多項技術(shù) 抄襲請慎重?。?！
目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品，產(chǎn)品囊括實(shí)驗電爐 CVD供氣系統 等離子清洗機 小型離子濺射儀 小型蒸鍍儀 石英管真空封口 半導體檢測等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究，廣銷(xiāo)于各大院校，及材料研究所。
公司與國內高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開(kāi)放實(shí)驗室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴謹的技術(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著(zhù)一顆真誠的心期待與您的合作。
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