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產(chǎn)品中心材料樣品檢測真空探針臺探針臺四探針測試臺
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四探針測試臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
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產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 |
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四探針測試臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
該探針臺的承片臺X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀(guān)察，使探針對準檢測點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測。
四探針測試臺實(shí)驗腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開(kāi)啟 | 鉸鏈側開(kāi) |
內腔體尺寸 | φ140x180 |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
觀(guān)察窗尺寸 | φ75 |
加熱臺尺寸 | 50x50 |
加熱臺溫度 | 室溫-350℃可調 |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽氣口 | KF25 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
進(jìn)氣閥門(mén) | 高精密針閥 |
抽氣閥門(mén) | KF25真空擋板閥 |
壓力表 | 機械壓力表 -0.1-0.15mpa |
信號電極 | 4個(gè) |
探針數量 | 4個(gè) |
探針材質(zhì) | φ1.5鎢針 其他材質(zhì)可選 |
探針移動(dòng)平臺 | |
X軸移動(dòng)行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.1MM |
Y軸移動(dòng)行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.05MM |
Z軸移動(dòng)行程 | 13mm ±6.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.05MM |
信號電極 | |
電極芯 | 1芯 |
電極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引出線(xiàn) | 銅網(wǎng)信號屏蔽線(xiàn) |
BNC引出接頭 | X4 |
額定電流 | ≤5A |
額定電壓 | ≤220V |
電極芯直徑 | φ1mm |
接觸電阻 | ≤5MΩ |
絕緣電阻 | ≥1000 MΩ |
外殼接地 | 是 |
電子顯微鏡 | |
電子顯微鏡根據客戶(hù)需要配置不同倍率 請和客服溝通 | |
做氣體傳感器的客戶(hù)可以選擇本公司的多通道智能氣體配比系統
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