產(chǎn)品中心
Product Center
當前位置：首頁(yè)
產(chǎn)品中心材料樣品檢測真空探針臺氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺 探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
product
產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本
氣體傳感器測試腔不銹鋼真空探針臺的承片臺X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀(guān)察，使探針對準檢測點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測。
技術(shù)參數 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開(kāi)啟 | 鉸鏈側開(kāi) |
內腔體尺寸 | φ140x180 |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
觀(guān)察窗尺寸 | φ75 |
加熱臺尺寸 | 50x50 |
加熱臺溫度 | 室溫-350℃可調 |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽氣口 | KF25 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
進(jìn)氣閥門(mén) | 高精密針閥 |
抽氣閥門(mén) | KF25真空擋板閥 |
壓力表 | 機械壓力表 -0.1-0.15mpa |
信號電極 | 4個(gè) |
探針數量 | 4個(gè) |
探針材質(zhì) | φ1.5鎢針 其他材質(zhì)可選 |
探針移動(dòng)平臺 | |
X軸移動(dòng)行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.1MM |
Y軸移動(dòng)行程 | 13MM ±6.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.05MM |
Z軸移動(dòng)行程 | 13mm ±6.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.05MM |
信號電極 | |
電極芯 | 1芯 |
電極引出接頭 | BNC母頭 |
電極引出線(xiàn) | 銅網(wǎng)信號屏蔽線(xiàn) |
BNC引出接頭 | X4 |
額定電流 | ≤5A |
額定電壓 | ≤220V |
電極芯直徑 | φ1mm |
接觸電阻 | ≤5MΩ |
絕緣電阻 | ≥1000 MΩ |
外殼接地 | 是 |
電子顯微鏡 | |
電子顯微鏡根據客戶(hù)需要配置不同倍率 請和客服溝通 | |
上一個(gè)：
返回列表
