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產(chǎn)品中心材料樣品檢測微型真空高低溫探針臺KT-Z4019MRL4T鉑金叉指電*低溫探針臺
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鉻金薄膜的蒸鍍生長(cháng)。本文所研究的叉指電極結構采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長(cháng)一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過(guò)程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機中，抽真空后，先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層，再蒸鍍1000Å 厚度的金層，后升溫到 300℃進(jìn)行熱處理以增強鉻金層的黏附性。鉑金叉指電*低溫探針臺是一款專(zhuān)門(mén)用于叉指電極的經(jīng)濟型探針臺。
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相關(guān)文章| 品牌 | 鄭科探 | 價(jià)格區間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 自動(dòng)化度 | 手動(dòng) | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國產(chǎn) |
| 應用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
鉻金薄膜的蒸鍍生長(cháng)。本文所研究的叉指電極結構采用鉻、金材料制作。首先需要在玻璃襯底上生長(cháng)一層均勻覆蓋的薄膜。將上一步工藝過(guò)程中清洗好的玻璃片放入電子束蒸發(fā)鍍膜機中，抽真空后，先蒸鍍 50 厚度的鉻金屬層，再蒸鍍1000? 厚度的金層，后升溫到 300℃進(jìn)行熱處理以增強鉻金層的黏附性。
紫外光刻。首先利用勻膠機在玻璃襯底表面旋涂一層均勻的光刻膠，厚度大約為 1~2μm，然后利用光刻機設備以及已制備好叉指電極圖形的光刻板在玻璃片表面進(jìn)行紫外曝光工藝，然后在顯影液中顯影得到掩模圖形。完成光刻后，在鉻金金屬薄膜表面上就形成光刻膠的電極圖案。
叉指電極是指狀或梳狀的面內有周期性圖案的電極，它是通過(guò)電化學(xué)工藝加工獲得的超精細電路。作為電信號傳輸核心部件，廣泛應用于生物醫療檢測、環(huán)境在線(xiàn)監測，食品安全檢測，安全監測等重要領(lǐng)域。
鉑金叉指電*低溫探針臺
鉑金叉指電*低溫探針臺KT-Z4019MRL4T 參數
真空腔體 | ||
類(lèi)型 | 高溫型室溫到400℃ | 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 最大值 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機界面 | |
溫控類(lèi)型 | 標準PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類(lèi)型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線(xiàn)性電源加熱 | 直流線(xiàn)性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實(shí)時(shí)溫度曲線(xiàn)+歷史溫度曲線(xiàn) 可擴展真空讀數接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線(xiàn)轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線(xiàn)長(cháng)1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數量 | 4探針（可擴展5探針） | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺 | ||
X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調節探針桿） | |
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