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產(chǎn)品中心材料樣品檢測探針臺KT-Z1604TZ高溫真空探針臺
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高溫真空探針臺KT-Z1604TZ，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃。以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來(lái)的測試結果誤差。
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產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
高溫真空探針臺KT-Z1604TZ
真空探針臺可實(shí)現高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測量，真空腔一體成型，具有設計合理，真空度穩定，溫控精度及機械精度高等特點(diǎn)；根據測試溫度范圍不同，可單選高溫或低溫等相應組件，溫度可達到400℃，低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件，溫度可低至-196℃，；真空系統可選機械泵或分子泵系統，真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。
高低溫真空探針臺應用：
可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析，如：半導體/微電子，電子，機電，物理，化學(xué)，材料，光電，納米，微機電/MEMS，生物芯片，航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域，以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。
高溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數
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真空腔體 | |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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上蓋開(kāi)啟 |
鉸鏈側開(kāi) |
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加熱臺材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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內腔體尺寸 |
φ160x90mm |
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觀(guān)察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加熱臺尺寸 |
φ60mm |
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觀(guān)察窗熱臺間距 |
75mm |
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加熱臺溫度 |
﹣196~350℃ |
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加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
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真空度 |
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允許正壓 |
≤0.1MPa |
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真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
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氣體進(jìn)氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
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電信號接頭 |
SMA轉BNC X 4 |
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電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
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探針數量 |
4探針 |
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探針材質(zhì) |
鎢針 |
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探針尖 |
10μm |
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探針移動(dòng)平臺 | |
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X軸移動(dòng)行程 |
30mm ±15mm |
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X軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Y軸移動(dòng)行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
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Z軸移動(dòng)行程 |
13mm ±12.5mm |
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Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
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電子顯微鏡 | |
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顯微鏡類(lèi)別 |
物鏡 |
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物鏡倍數 |
0.7-4.5倍 |
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工作間距 |
90mm |
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相機 |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
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圖像接口 |
VGA |
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LED可調光源 |
有 |
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顯示屏 |
8寸 |
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放大倍數 |
19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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