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產(chǎn)品中心

Product Center

高溫真空探針臺

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高溫真空探針臺KT-Z1604TZ,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到400℃。以便測量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數的變化。腔體內被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來(lái)的測試結果誤差。

產(chǎn)品型號:KT-Z1604TZ
更新時(shí)間:2024-03-29
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
訪(fǎng)問(wèn)量:1139
品牌鄭科探

  高溫真空探針臺KT-Z1604TZ

  真空探針臺可實(shí)現高真空環(huán)境下的高溫及低溫電學(xué)性能測量,真空腔一體成型,具有設計合理,真空度穩定,溫控精度及機械精度高等特點(diǎn);根據測試溫度范圍不同,可單選高溫或低溫等相應組件,溫度可達到400℃,低溫部分采用液氮或液氦冷卻組件,溫度可低至-196℃,;真空系統可選機械泵或分子泵系統,真空度可達到10-3Torr或10-6Tor。

  高低溫真空探針臺應用:

  可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學(xué)性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學(xué),材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學(xué)研究領(lǐng)域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領(lǐng)域。

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高溫真空探針臺KT-Z1604TZ參數

 

 

真空腔體

 

腔體材質(zhì)

 

304不銹鋼

 

上蓋開(kāi)啟

 

鉸鏈側開(kāi)

 

加熱臺材質(zhì)

 

304不銹鋼

 

內腔體尺寸

 

φ160x90mm

 

觀(guān)察窗尺寸

 

Φ70mm

 

加熱臺尺寸

 

φ60mm

 

觀(guān)察窗熱臺間距

 

75mm

 

加熱臺溫度

 

﹣196~350℃

 

加熱臺溫控誤差

 

±1℃

 

真空度

 

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

 

允許正壓

 

≤0.1MPa

 

真空抽氣口

 

KF25真空法蘭

 

氣體進(jìn)氣口

 

3mm-6mm卡套接頭

 

電信號接頭

 

SMA轉BNC X 4

 

電學(xué)性能

 

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V

 

探針數量

 

4探針

 

探針材質(zhì)

 

鎢針  

 

探針尖

 

10μm

 

探針移動(dòng)平臺

 

X軸移動(dòng)行程

 

30mm    ±15mm

 

X軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Y軸移動(dòng)行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Y軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Z軸移動(dòng)行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Z軸控制精度

 

≤0.01mm

 

電子顯微鏡

 

顯微鏡類(lèi)別

 

物鏡

 

物鏡倍數

 

0.7-4.5倍

 

工作間距

 

90mm

 

相機

 

sony 高清

 

像素

 

1920※1080像素

 

圖像接口

 

VGA

 

LED可調光源

 

 

顯示屏

 

8寸

 

放大倍數

 

19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

 

 

 

 

 

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