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產(chǎn)品中心材料樣品檢測探針臺KT-Z4019MRL4T小型氣敏探針臺
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小型氣敏探針臺KT-Z4019MRL4T，4探針手動(dòng)調節，純銀加熱臺，-196℃至350℃（溫控精確±0.5）
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產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 | 溫度范圍 | -196℃到350℃ |
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小型氣敏探針臺KT-Z4019MRL4T探針臺用途： 手動(dòng)探針臺又稱(chēng)探針測試臺主要用途是為半導體芯片的電參數測試提供一個(gè)測試平臺，探針臺可吸附多種規格芯片，并提供多個(gè)可調測試針以及探針座，配合測量?jì)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線(xiàn)等參數檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析，抽查測試等用途 探針臺系統組成： 探針臺臺體+顯微鏡+探針座+探針夾具+探針+測試源表（請注意無(wú)測試源表就構成不了系統，探針臺只是提供一個(gè)測試平臺，一切數據的測量都需要依靠測試源表來(lái)完成） 探針臺測試環(huán)境： 可提供的測試環(huán)境有：常溫、高溫、高低溫測試、真空高低溫、高壓、輻射以及磁場(chǎng)環(huán)境。
小型氣敏探針臺KT-Z4019MRL4T參數
真空腔體 | ||
類(lèi)型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體真空測量口 | KF16法蘭（其余接口規格可轉接） | |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） | |
樣品臺 | ||
樣品臺材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺-視窗 距離 | 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm） | |
樣品臺測溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺測溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機界面 | |
溫控類(lèi)型 | 標準PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號輸入類(lèi)型 | PT100 （可選K S B型熱電偶） | |
溫控輸出 | 直流線(xiàn)性電源加熱 | 直流線(xiàn)性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數據采集并導出 實(shí)時(shí)溫度曲線(xiàn)+歷史溫度曲線(xiàn) 可擴展真空讀數接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號接頭 | 配線(xiàn)轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線(xiàn)長(cháng)1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數量 | 4探針（可擴展5探針） | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選） | |
探針尖 | 10μm | |
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺 | ||
X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺） | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉探針桿） | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調節探針桿） | |
上一個(gè)：
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