產(chǎn)品中心
Product Center
當前位置：首頁(yè)
產(chǎn)品中心材料樣品檢測真空探針臺KT-Z160T-RL高精度大型真空探針臺
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
高精度大型真空探針臺，移動(dòng)滑塊精度0.01mm，探針尖10μm，鍍金鎢針，物鏡放大倍數19-135倍
product
產(chǎn)品分類(lèi)| 品牌 | 鄭科探 |
|---|
高精度大型真空探針臺，移動(dòng)滑塊精度0.01mm，探針尖10μm，鍍金鎢針，物鏡放大倍數19-135倍
-196℃到400℃(液氮)；
超高溫度分辨率；
低溫具有*穩定性
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現象會(huì )越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過(guò)度氧化會(huì )導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測試過(guò)程泵的運轉。
晶圓測試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會(huì )有相對位移，這時(shí)需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調整探針的位置。
高精度大型真空探針臺
真空腔體 | |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
上蓋開(kāi)啟 | 鉸鏈側開(kāi) |
加熱臺材質(zhì) | 304不銹鋼 |
內腔體尺寸 | φ160x90mm |
觀(guān)察窗尺寸 | Φ70mm |
加熱臺尺寸 | φ60mm |
觀(guān)察窗熱臺間距 | 75mm |
加熱臺溫度 | ﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 | ±1℃ |
真空度 | 機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 | ≤0.1MPa |
真空抽氣口 | KF25真空法蘭 |
氣體進(jìn)氣口 | 3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 | SMA轉BNC X 4 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數量 | 4探針 |
探針材質(zhì) | 鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dòng)平臺 | |
X軸移動(dòng)行程 | 30mm ±15mm |
X軸控制精度 | ≤0.01mm |
Y軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 | ≤0.01mm |
Z軸移動(dòng)行程 | 13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 | ≤0.01mm |
電子顯微鏡 | |
顯微鏡類(lèi)別 | 物鏡 |
物鏡倍數 | 0.7-4.5倍 |
工作間距 | 90mm |
相機 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
圖像接口 | VGA |
LED可調光源 | 有 |
顯示屏 | 8寸 |
放大倍數 | 19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
上一個(gè)：
返回列表
