真空探針臺測試設備 高低溫測試臺探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范圍：0－20mm；用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀(guān)察，使探針對準檢測點(diǎn)后，即可進(jìn)行

該探針臺的承片臺X/Y/Z三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節高低溫控制真空探針臺 * 范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶(hù)可根據需要自行調節。使用時(shí)將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過(guò)顯微鏡觀(guān)察，使探針對準檢測點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測。

真空測試微型探針臺 該腔體設計有進(jìn)氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用級別真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時(shí)將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針尖處由3軸可移動(dòng)探針手動(dòng)調節移動(dòng)至被測試器件的引腳處，外部信號線(xiàn)連接測試儀器來(lái)測試電學(xué)信號。

實(shí)驗室真空加熱腔體 探針臺主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本

真空腔體氣體傳感器 加熱主要用于氣體敏感材料或其他對環(huán)境敏感性材料中的電化學(xué)信號測試。測試腔體可擴展模塊較多，該腔體設計有進(jìn)氣口和抽真空接口和4-8芯信號真空電極及真空計接口，腔體上部安裝有φ80石英觀(guān)察片方便觀(guān)察樣品和光學(xué)用途。